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一台光刻机多少钱(阿斯麦一台光刻机多少钱)

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在芯片生产过程中,光刻机起着至关重要的作用,光刻机的技术直接决定了芯片的性能。随着半导体技术进入7nm以内,EUV光刻机是不可或缺的关键设备,世界上只有阿斯麦公司生产。

目前NA 0.33光圈的EUV光刻机价格高达1.5亿美元,约合10亿,下一代会更贵。

阿斯麦一台光刻机多少钱

现在NA 0.33口径的EUV光刻机已经可以量产3nm和2nm工艺,接下来就需要下一代NA 0.55口径的光刻机,也就是高NA EUV,2nm以下的工艺是必须的。

高NA EUV光刻机不仅价格昂贵,而且使用起来也越来越贵,因为功耗会不断上升。阿斯麦最近证实,高NA EUV光刻将消耗额外的0.5毫瓦功耗,加上当前的1.5毫瓦功耗。

下一代光刻机总功耗将达到2MW,即200万瓦。如果一天24小时运行,那么下一代光刻机每天要消耗48000度电,这对芯片厂商来说是非常高的,是绝对的电老虎。

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